|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2077753 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент США N 4333051, кл. G 01 R 31/26, 1982. 2. Патент США N 5025145, кл. H 01 J 40/14, 1991. |
| Имя заявителя: | Файфер Владимир Николаевич | | Изобретатели: | Файфер В.Н.
Дюков В.Г.
Правдивцев А.Е. | | Патентообладатели: | Файфер Владимир Николаевич |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к области измерений электрофизических параметров полупроводниковых пластин и структур при производстве интегральных микросхем и может быть использовано для оптимизации технологических процессов. Сущность изобретения: освещают локальную область поверхности пластины модулированным монохроматическим излучением на разных длинах волн и измеряют сигналы фотоЭДС. Выбирают потоки из анализа зависимости фотоЭДС от них и измеряют потоки. Освещают симметричную область на обратной стороне пластины модулированным монохроматическим излучением на разных длинах волн и измеряют сигналы фотоЭДС на исходной стороне пластины. Выбирают потоки из анализа зависимости фотоЭДС на этой стороне от них и измеряют эти потоки. Искомые значения определяют расчетным путем с использованием соответствующих коэффициентов поглощения. Устройство содержит предметный столик с отверстием, два перестраиваемых по длине волны источника монохроматического, регулируемого и модулированного по интенсивности излучения, два оптических элемента формирования пространственно-ограниченного потока, расположенных по разные стороны от плоскости столика и оптически связанных через оптическую систему передачи излучения с источниками, датчик фотоЭДС с электродом емкостной связи, расположенным между одним из оптических элементов к плоскости столика, фотоприемник, оптически связанный с двумя источниками, и блок регистрации и управления, вход которого связан с датчиком фотоЭДС, а выход - с источниками излучения. 2 с.п. 27 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента