|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2076392 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 317133, кл. H 01 L 7/68, 1971. 2. Патент США N 3508151, кл. 324-158, 1970. 3. Авторское свидетельство СССР N 560372, кл. H 05 K 1/04, 1975. |
| Имя заявителя: | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" | | Изобретатели: | Темнов А.М. | | Патентообладатели: | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к области полупроводникового машиностроения, в частности к устройствам зондового измерения полупроводниковых структур. Сущность: обратная сторона основания полностью металлизирована и заземлена, а к ней присоединены заземляющие контакты головки. В основании выполнено отверстие, размеры которого больше размеров измеряемого кристалла. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента