|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ФРЕЗЕРОВАНИЯ ОКСИДНЫХ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2075795 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | Патент Японии N 1-57496, кл. H 01 L 21/302, 1981. Авторское свидетельство СССР N 524769, кл. C 01 F 7/02, 1974. Авторское свидетельство СССР N 182705, кл. C 01 F 7/44, 1962. |
| Имя заявителя: | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" | | Изобретатели: | Иовдальский В.А.
Рыбкин В.Н. | | Патентообладатели: | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" |
Реферат | |
Изобретение относится к термохимической обработке материалов. Изобретение позволит повысить прецизионность изготовления деталей при сохранении электрофизических свойств материала. Сущность изобретения: проводят процесс термообработки в две стадии. Первая проводится в кассете, содержащей графит, расположенный на расстоянии 2 - 20 мм от заготовки и при температуре 1200 - 1800oC и вакууме 1·10-3 - 1·10-1 мм рт. ст. Вторая стадия проводится в атмосфере, содержащей кислород в количестве, более или равном 5% объема, и при температуре от 1300oC до температуры плавления материала заготовки.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента