|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2072585 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/302 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент ГДР N 123561, кл. H 01L 21/324, 1982. 2. Бочкин О.И., Брук В.А., Никифорова-Денисова С.Н. "Механическая обработка полупроводниковых материалов", М., Высшая школа, 1983, с.11-64. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Скупов В.Д. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: производство подложек для изготовления интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов. Способ подготовки полупроводниковых подложек включает механическое полирование и очистку поверхности с использованием ультразвука, химико-механическое полирование рабочей стороны подложек. После механического полирования и очистки поверхности на рабочей стороне подложек путем селективного или анизотропного химического травления на глубину нарушенного полированием слоя формируют микрорельеф и обрабатывают подложки ультразвуком в течение 2,5-3,0 ч в деионизованной воде, а затем не позднее, чем через сутки проводят химико-механическое полирование для удаления микрорельефа на рабочей стороне подложек. 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента