На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ СЪЕМА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ С ЭЛАСТИЧНОЙ ПЛЕНКИ - НОСИТЕЛЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЪЕМА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ С ЭЛАСТИЧНОЙ ПЛЕНКИ - НОСИТЕЛЯ | |
Номер публикации патента: 2071144 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/68 | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 62-42379, кл. H 01 L 21/68, 1987. |
Имя заявителя: | Варламов Анатолий Александрович | Изобретатели: | Варламов Анатолий Александрович | Патентообладатели: | Варламов Анатолий Александрович |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике. Цель изобретения - повышение качества съема кристаллов и расширение номенклатуры используемых кристаллов. Сущность изобретения: выполнение отверстий в эластичной пленке-носителе совместно с использованием игл, имеющих эластичные элементы, образующие насадку овальной формы с заявленными соотношениями размеров, позволяющих без создания микротрещин снимать кристаллы с эластичного носителя.
|