На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТАНОВКА ДЛЯ ПЛАЗМОСТРУЙНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН

Номер публикации патента: 2067338

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  5063203		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в электротехнической и электронной технологии, в частности в установках для плазмо-струйной обработки пластин. Сущность изобретения: установка включает замкнутую камеру с системой газообмена, размещенный в камере по крайней мере один держатель пластин, соединенный с вертикальным валом углового перемещения, генератор плазменной струи и по крайней мере один центрователь пластин. Последний размещен под держателем. Каждый держатель снабжен приводом вращения вокруг своей вертикальной оси. Ось каждого держателя, ось генератора и ось, проходящая через центр масс центрователя, равноудалены от оси вертикального вала. Генератор плазменной струи расположен относительно центрователя под углом γ, измеряемым между двумя радиусами, один из которых соединяет оси генератора плазменной струи, а другой - ось, проходящую через центр масс центрователя, с осью того же вала, и удовлетворяющим условию: g > n/360/N/+2arcsin[(D+d)/4R] или g < (n+1)/360/n/-2arcsin[(D+d)/4R] , где n - 0,1...(N-1); D - наибольший размер центрователя вдоль линии, проходящей через его центр масс; d - поперечный размер плазменной струи; R - расстояние от оси вертикального вала до осей генератора плазменной струи, держателя пластин и оси, проходящей через центр масс центрователя. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.

Вернуться к списку