|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2062526 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/31 | | Аналоги изобретения: | 1. W. Kern. Deposited dielectrics for VLSJ. Simiconductor Internotional , July, 1985, p. 122 - 129. 2. Плазменная технология в производстве СБИС / под ред. Н. Айжирука.- М.: Мир, 1987, с. 91. |
| Имя заявителя: | Рубцов Н.М. | | Изобретатели: | Рубцов Н.М.
Нагорный С.С. | | Патентообладатели: | Рубцов Николай Михайлович |
Реферат | |
Использование: в технологии микроэлектроники. Сущность изобретения: в предложенной установке рабочую зону ограждают двумя проводящими сетчатыми электродами, расположенными над или между обрабатываемыми образцами, при этом сетки имеют форму и размеры, что и держатели подложек. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента