|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕСТ - РЕНТГЕНОШАБЛОНОВ |  |
Номер публикации патента: 2055418 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 3275428, кл. 65-4, 1974. |
| Имя заявителя: | Саратовское научное объединение "Санор" | | Изобретатели: | Лебедев Н.Ф.
Недранец Ю.И.
Скибина Н.Б.
Белоглазов В.И. | | Патентообладатели: | Саратовское научное объединение "Санор" |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, разработка и изготовление тест-рентгеношаблонов для производства интегральных схем и некоторых микроэлектронных приборов. Сущность изобретения: для получения субмикронной структуры порядка 0,15 - 0,25 мкм в способе изготовления тест-рентгеношаблонов из стеклянных элементов путем сборки, перетяжки, резки и химического травления укладку производят счетно рядами по строгой топологии стержнями, формируя перегородки и обрамление.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента