|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СОСТАВ РАСТВОРА ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ (ТИПА "ПОЛИФУНКЦИОНАЛ") |  |
Номер публикации патента: 2052868 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | 1. Отраслевой стандарт. Микросхемы и приборы полупроводниковые. Химическая обработка кремниевых пластин перед термическими операциями. Технологический процесс РД 11.054.230-78, 1979, с.8. 2. Патент США N 5219613, кл. H 01L 21/302, 1993. 3. Акцептованная заявка Японии N 4-55525, кл. H 01L 21/308, 1988. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Сапфир" | | Изобретатели: | Панаева С.А.
Дерюгин В.Н.
Ежов А.А.
Комарова Н.В.
Коровин С.К.
Крячко В.В.
Лиходед О.Г.
Лобов И.Е.
Усов Н.Н.
Ушкалова Г.Г. | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Сапфир" |
Реферат | |
Использование: для очистки поверхности разных материалов, таких как диэлектрики, полупроводники, металлы. Сущность изобретения: состав содержит воду и активную добавку. В качестве активной добавки введен сульфомалеиновый ангидрид, эффективное количество которого составляет 0,1 - 70 мас.%. Состав раствора для очистки поверхности нетоксичен, не представляет угрозы окружающей среде, намного дешевле, чем обычные аммиачные и кислотные растворы, может быть использован повторно 2 - 3 раза без уменьшения
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента