|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОТОЛИТОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 2036536 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 778573, кл. H 01L 21/31, 1980. |
| Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт (BY) | | Изобретатели: | Лыньков Леонид Михайлович[BY]
Семеняков Леонид Васильевич[BY] | | Патентообладатели: | Минский радиотехнический институт (BY) |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, при создании компонентов интегральных микросхем и межсоединений. Сущность изобретения: повторное электролитическое анодирование первой пленки алюминия проводят по ее торцу. Слой алюминия закрыт сверху слоем плотного оксида и лежащим на нем фоторезистом. Частичное анодирование алюминия позволяет значительно повысить адгезию фоторезиста.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента