|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СОЗДАНИЯ БУФЕРНЫХ СЛОЕВ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2035084 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/268 | | Аналоги изобретения: | Сборник докладов и тезисов 1-го Всесоюзного семинара Сверхматрица, М., 1989, с.167. |
| Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт (BY) | | Изобретатели: | Лыньков Леонид Михайлович[BY]
Крахотко Ирина Николаевна[BY]
Соловьев Владимир Валерьевич[BY]
Гуров Александр Иванович[RU]
Глудкин Олег Павлович[RU]
Захаров Владимир Иванович[BY] | | Патентообладатели: | Минский радиотехнический институт (BY) |
Реферат | |
Использование: технология изготовления полупроводниковых приборов, гибридных, интегральных и крио-микросхем. Сущность: буферные слои диоксида циркония создают путем нанесения на поверхность полупроводниковой подложки основного спиртового раствора цирконий - органической композиции и проведения термообработки.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента