|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНОГО СЛОЯ ДЛЯ АЛЮМИНИЕВОГО ПОКРЫТИЯ |  |
Номер публикации патента: 2034366 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/318 | | Аналоги изобретения: | 1. Peacock N. Ion beam suppression of hillock grauth in aluminium thin films. Thin solid Films, 1988, v.156, N 1, p.173-180. |
| Имя заявителя: | Институт структурной макрокинетики РАН | | Изобретатели: | Рубцов Н.М.
Славин М.Б.
Нагорный С.С. | | Патентообладатели: | Институт структурной макрокинетики РАН |
Реферат | |
Использование: при изготовлении интегральных схем. Сущность изобретения: способ включает осаждение пленки нитрида кремния в условиях ВЧ-разряда при комнатной температуре. Способ позволяет предотвратить рост шипов. Изобретение относится к способам устранения причин замыкания между проводящими уровнями в интегральных схемах (ИС) с целью увеличения выхода годных ИС и может найти применение в микроэлектронике.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента