|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2032248 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | 1. Бочкин О.И. и др. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1983, с.18-21. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Перевощиков В.А.
Скупов В.Д.
Скупова Т.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование в электронной промышленности при изготовлении полупроводниковых подложек. Сущность изобретения: после отрезания от слитка первой пластины с нее механическим и химическим полированием с обеих сторон удаляют нарушенный слой. На стороне, образованной при втором резе, путем царапания вдоль найденных кристаллографических направлений определяют направление с максимальной твердостью. Вдоль этого направления затем осуществляют поперечную подачу слитка на диск. При определении твердости царапание проводят со скоростью, равной скорости поперечной подачи слитка на диск. 1 з.п. ф-лы, 3 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента