|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ УДЕЛЬНОГО ПОВЕРХНОСТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ТОНКИХ РЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК В ПРОЦЕССЕ ОСАЖДЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2032237 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01C017/08 H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | Технология тонких пленок: Справочник /Под ред.Л.Майссела и др. М.: Советское радио, 1977, т.2, с.604. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Смолин В.К.
Уткин В.П. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: в электронной технике, в частности для контроля процесса осаждения резистивных пленок при изготовлении плат микросхем, микросборок и пленочных резисторов. Сущность изобретения: в зону осаждения резистивных пленок одновременно с рабочими подложками помещают основной и дополнительный контрольные образцы, производят осаждение резистивного материала на поверхность контрольных образцов и рабочих подложек. Перед осаждением резистивного материала к дополнительному контрольному образцу подключают омметр, а подключение омметра к основному контрольному образцу осуществляют в момент достижения на дополнительном контрольном образце толщины резистивной пленки, соответствующей значению сопротивления R1 в Ом, выбранному из соотношения R1= (1,2-1,4)R , где R - заданное значение величины сопротивления основного контрольного образца, соответствующее заданному значению удельного поверхностного сопротивления в Ом. Прекращают осаждение резистивного материала в момент достижения на основном контрольном образце заданного значения величины сопротивления. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента