|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ В ПРОЦЕССЕ ИХ ОСАЖДЕНИЯ НА НАГРЕТУЮ ПОДЛОЖКУ |  |
Номер публикации патента: 2025828 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | 1. Думин Д. Измерение толщины в процессе их осаждения с помощью интерференции в ИК-области. Приборы для научных исследований, 1967, т.38, N 8, с.1107-1109. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им.Н.Г.Чернышевского | | Изобретатели: | Биленко Д.И.
Ципоруха В.Д. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им.Н.Г.Чернышевского |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля толщины слоев в процессе их осаждения. Сущность изобретения: для повышения точности определения толщины слоя при осаждении на вращающуюся подложку производят регистрацию временной зависимости интенсивности собственного теплового излучения формируемой структуры на длинах волн λ1,λ2,λ3, выбираемых с определенными условиями, определяют число полупериодов временной зависимости интенсивности теплового излучения для λ2 по соотношению между интенсивностями этого излучения на длинах λ1 и λ3, а затем рассчитывают по формуле толщину слоя. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента