|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2025826 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/324 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент ГДР N 237937, кл. H 01L 21/324, 1986. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Кремний" | | Изобретатели: | Брюхно Н.А.
Лебедев А.С.
Шер Т.Б.
Шуман В.Б. | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Кремний" |
Реферат | |
Использование: изобретение может быть использовано при производстве кремниевых высоковольтных приборов и микросхем. Сущность: формируют активные и пассивные элементы структуры, проводят высокотемпературную обработку при температуре 1000 - 1250°С, затем проводят низкотемпературную обработку в два этапа: температуру первого этапа задают равной 800 - 950°С и проводят обработку в течение времени 30 - 90 мин, температуру второго этапа задают равной 500 - 750°С и проводят обработку в течение времени 10
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента