|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПЛАНАРИЗАЦИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2024992 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4523975, МКИ H 01L 21/312, 1985. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт молекулярной электроники | | Изобретатели: | Близнецов В.Н.
Гущин О.П.
Железнов Ф.К.
Трусов А.А.
Ячменев В.В. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт молекулярной электроники |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, производство БИС и СБИС. Сущность изобретения: способ планаризации интегральных схем путем плазменного травления в индивидуальном диодном реакторе при давлении от 150 до 600Па и плотности ВЧ мощности от 3,5 до 8,0 Вт/см2 в четырехкомпонентной смеси при следующем соотношении компонентов, об.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента