|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ |  |
Номер публикации патента: 2024108 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/76 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка Японии N 63-2347, кл. H 01L 21/76, 1988. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Кремний" | | Изобретатели: | Брюхно Н.А.
Гарбуз Б.А.
Громов В.И.
Ким Ю.В.
Ковалев Г.М.
Смирнов В.А. | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Кремний" |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, технологии изготовления высоковольтных мощных микросхем с диэлектрической изоляцией. Сущность изобретения: при изготовлении микросхем с диэлектрической изоляцией на плоскопараллельной монокристаллической слаболегированной кремниевой пластине вытравливают разделительные канавки, формируют сильнолегированный скрытый слой того же типа проводимости, что и пластина, формируют изоляционный окисел, поликремниевую подложку и удаляют монокристаллический кремний для форм
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента