|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУР ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ ЭЛЕМЕНТОВ |  |
Номер публикации патента: 2022404 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/76 | | Аналоги изобретения: | 1. Клюбина З.Д., Михайлов Ю.А. и Сорокина Н.Т. Структуры с диэлектрической изоляцией кремния электронной и дырочной проводимости. Электронная техника, вып.8/92-9/93, с.46-48. |
| Имя заявителя: | Сероусов Игорь Юрьевич | | Изобретатели: | Сероусов Игорь Юрьевич | | Патентообладатели: | Сероусов Игорь Юрьевич |
Реферат | |
Использование: технология изготовления интегральных схем. Сущность изобретения: способ изготовления структур интегральных схем с диэлектрической изоляцией элементов включает соединение двух кремниевых пластин с использованием соединительного слоя следующего состава, мол.%: диоксид кремния, полученный плазмохимическим способом, 0,077Т-14,216, оксид бора остальное до 100% , где Т - температура синтеза боросиликатных соединений.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента