|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2022400 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4521275, кл. H 01l 21/306, 1983. |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники РАН | | Изобретатели: | Амиров И.И.
Селуков А.А. | | Патентообладатели: | Институт микроэлектроники РАН |
Реферат | |
Использование: газовая смесь для плазмохимического травления кремния в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Сущность изобретения: газовая смесь для плазмохимического травления кремния содержит CF6, O2 и CF2Cl2 при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: SF6 1,0, CF2Cl2 0,3 - 3,0, O2 6,0 - 8,5.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента