|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКЕ ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕМ |  |
Номер публикации патента: 2019889 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 62-188936, кл. H 01L 21/68. |
| Имя заявителя: | Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ" | | Изобретатели: | Валентинов М.М.
Недоспасов В.Г.
Нестеров А.И. | | Патентообладатели: | Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ" |
Реферат | |
Использование: для крепления полупроводниковых пластин в технологическом оборудовании для жидкостной обработки центрифугированием. Цель изобретения - упрощение конструкции держателя. Сущность изобретения: на дисковой поверхности держателя выполнены гнезда для установки полупроводниковых пластин и полости под ними.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента