|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЫ С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ |  |
Номер публикации патента: 2018194 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/76 | | Аналоги изобретения: | 1. Гаряинов С.А. Диэлектрическая изоляция элементов ИС. М..: Сов. радио, 1975, 72-76. |
| Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | | Изобретатели: | Брюхно Н.А.
Долгих С.И.
Дунин-Барковский А.Р.
Ермолаева А.И.
Кошелев Н.И.
Огнев В.В.
Полинская Р.Н.
Тимошенков С.П. | | Патентообладатели: | Московский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, технология изготовления кремниевых структур с диэлектрической изоляцией. Сущность изобретения: при изготовлении кремниевой структуры с диэлектрической изоляцией элементов проводят двустороннюю механическую обработку исходной монокристаллической и опорной кремниевых пластин, формируют в исходной монокристаллической кремниевой пластине рельеф и скрытый слой, формируют изолирующую пленку диэлектрика, заполняют рельеф поликремниевым слоем, проводят механическую обраб
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента