На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
НЕРАЗРУШАЮЩИЙ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ | |
Номер публикации патента: 2018193 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/66 | Аналоги изобретения: | 1. Мильбурн Г., Рентгеновская кристаллография, - М.: Мир, 1975, с.56. |
Имя заявителя: | Институт физики им.Б.И.Степанова АН Беларуси | Изобретатели: | Яблонский Г.П. Гладыщук А.А. Зыкова Т.Л. Ракович Ю.П. | Патентообладатели: | Институт физики им.Б.И.Степанова АН Беларуси |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к способам определения кристаллографической полярности поверхностей полупроводниковых кристаллов cds. Сущность изобретения: каждую поверхность образца освещают светом, регистрируют спектр экситонного излучения в диапазоне длин волн 482-496 нм и определяют кристаллографическую полярность для высокоомных кристаллов на основе сравнения полуширины линии экситонного излучения каждой из поверхности, а для низкоомных кристаллов -
|