|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СОЗДАНИЯ БУФЕРНЫХ СЛОЕВ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2018192 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/268 | | Аналоги изобретения: | Несмелов А.В. и др. Нанесение барьерного слоя диоксида циркония на металлическую основу для изготовления длинномерных пластичных сверхпроводящих изделий. Сборник докладов и тезисов 1- го Всесоюзного семинара. "Сверхматрица", М., 1989, с.167. |
| Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт | | Изобретатели: | Лыньков Л.М.
Шишанкова З.И.
Колосова Г.В.
Глыбин В.П. | | Патентообладатели: | Минский радиотехнический институт |
Реферат | |
Использование: технология изготовления полупроводниковых приборов, гибридных, интегральных и криомикросхем. Сущность изобретения: на подложку наносят раствор цирконийорганической композиции, проводят обработку воздействием ультрафиолетового излучения при 100-200°С в течение 15-60 мин, а затем термообработку воздействием облучения некогерентным светом с интенсивностью, обеспечивающей нагрев подложки, со скоростью 60-150 град/с до 500-900°С.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента