|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ПРИБОРА С ЗАРЯДОВОЙ СВЯЗЬЮ |  |
Номер публикации патента: 2014671 |  |
| Имя заявителя: | Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" | | Изобретатели: | Булгаков А.Г.
Кириенко В.Г.
Санин К.В. | | Патентообладатели: | Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" |
Реферат | |
Использование: изобретение может быть использовано при изготовлении МДП-микросхем. Сущность: способ включает формирование на кремниевой подложке маскирующего слоя, предварительную термообработку, формирование элементов прибора и финишную термообработку. Охлаждение после термообработки проводят по заданной программе.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента