|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОП - СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2012091 |  |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт материаловедения им.А.Ю.Малинина | | Изобретатели: | Зайцев Н.А.
Медведев А.И.
Николаева Н.В.
Суровиков М.В. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт материаловедения им.А.Ю.Малинина |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, производство КМОП полупроводниковых приборов, стойких к воздействию внешних факторов. Сущность изобретения: при изготовлении МОП-структур проводят отжиг пластин кремния в азотсодержащей среде, состоящей из азота, кислорода и хлористого водорода, взятых в определенном соотношении при температуре 973 - 1173 К не менее 3 ч, затем формируют пленку диоксида кремния и наносят пленку алюминия.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента