|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН С ВНУТРЕННИМ ГЕТТЕРОМ |  |
Номер публикации патента: 2009575 |  |
| Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "Сиапс" | | Изобретатели: | Эйдельман Б.Л.
Короткевич А.В.
Никитин В.А. | | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Сиапс" |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для контроля качества подготовки кремниевых пластин с внутренним оксидным геттером. Сущность изобретения: способ позволяет контролировать ширину приповерхностной бездефектной зоны в кремниевых пластин, например, p- и n-типа проводимости за счет освещения ее импульсами ИК-света с объемным поглощением квантов и импульсами света видимого или ультрафиолетового диапазона длительностью не более 30 нс с поверхностным погло
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента