|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ТЕРМООБРАБОТКИ ФОТОРЕЗИСТА |  |
Номер публикации патента: 2009572 |  |
| Имя заявителя: | Государственное научно-производственное предприятие "Импульс" | | Изобретатели: | Шворобей Ю.Л.
Абдусаламов В.М.
Шворобей В.Ю.
Буланов И.М. | | Патентообладатели: | Государственное научно-производственное предприятие "Импульс" |
Реферат | |
Назначение: изобретение относится к электронной технике, в частности к способам контроля технологических процессов в производстве гибридных интегральных схем и печатных плат, и может быть использовано на операциях контроля отверждения. Сущность изобретения: регистрируют зависимость изменения диэлектрической постоянной от времени термообработки.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента