|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2007784 |  |
| Имя заявителя: | Рогов Владимир Викторович,Заказнова Вера Дмитриевна,Тюнькова Зоя Васильевна,Ерусалимчик Иосиф Григорьевич | | Изобретатели: | Рогов В.В.
Заказнова В.Д.
Тюнькова З.В.
Ерусалимчик И.Г. | | Патентообладатели: | Рогов Владимир Викторович
Заказнова Вера Дмитриевна
Тюнькова Зоя Васильевна
Ерусалимчик Иосиф Григорьевич |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике. Сущность изобретения: способ включает воздействие на наклеенные пластины вращающегося полировальника и абразивного состава с вязкостью 4 - 8 сП при нагружении пластин. В качестве полировальника используют лавсановую ткань. Обработку пластин ведут при линейной скорости точки полировальника, совпадающей с положением центра кассет, равной 0,75 - 1,40 м/с, при расходе абразивного состава не менее 1,2 мл/с на 1м2 полировальника и давлен
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента