|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| Способ формирования микрорельефа |  |
Номер публикации патента: 2004037 |  |
| Имя заявителя: | Фрязинская часть института радиотехники и электроники РАН | | Изобретатели: | Аверин Станислав Владимирович
Андреев Анатолий Семенович
Кмита Анатолий Михайлович | | Патентообладатели: | Фрязинская часть института радиотехники и электроники РАН |
Реферат | |
Использование: технгология производства конструктивных элементов планарных устройств, таких как преобразователи и отражательные решетки (Р) для поверхностных акустических волн, электроды для полупроводниковых приборов. Суицнсоть изобретения: способ изготовления Р пленочных элементов состоит в следующем.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента