|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| Способ химико - механического полирования полупроводниковых пластин и стеклянных заготовок |  |
Номер публикации патента: 2002338 |  |
| Имя заявителя: | Центральный научно-исследовательский институт пленочных материалов и искусственной кожи | | Изобретатели: | Валеев Айрат Флюрович
Илларионова Валентина Александровна
Сидоренко Игорь Владимирович | | Патентообладатели: | Центральный научно-исследовательский институт пленочных материалов и искусственной кожи |
Реферат | |
Сущность изобретения: химико-механическое полирование проводят, как обычно. В качестве полировальника используют нетканый иглопробивной материал, состоящий из полиэтилентерефтальных волокон и пропитанный полиуретаном.ФАКСИМИЛЬНОЕ ИЗОБРАЖЕНИЕБиблиография:Страница 1Реферат:Страница 1Формула:Страница 2Описание:Страница 2MM4A - Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силеБИ: 28/2000Извещение опубл
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента