На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОВОДКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Номер публикации патента: 1829770

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  4940285		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к полупроводниковой технике, а точнее, к односторонней шлифовке полупроводниковых пластин. Устройство содержит доводочный диск с приводом вращения, установленным в корпусе устройства, спутники для наклейки пластин, средство для размещения спутников на доводочном диске, прижимной диск для нагружения пластин, соосно установленный с указанным средством, ось которого смещена относительно оси доводочного диска. Средство для размещения спутников на доводочном диске выполнено в виде центрального и внешнего зубчатых колес, группы зубчатых колес-сателлитов с отверстием для размещения спутника в каждом, расположенных планетарно между центральным и внешним зубчатыми колесами и находящихся в зацеплении с ними, причем центральное колесо установлено соосно с прижимным диском. Внешнее зубчатое колесо за пределами области перемещения группы зубчатых колес-сателлитов снабжено разъемными жесткими связями с прижимным диском или корпусом устройства. 1 з. п. ф-лы, 3 ил.

Вернуться к списку