|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЕВЫХ СЛОЕВ |  |
Номер публикации патента: 1826815 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/268 | | Аналоги изобретения: | Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974, с.239. |
| Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт | | Изобретатели: | Лабунов В.А.
Демчук А.В |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, технология изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Сущность изобретения: на монокристаллическую кремниевую подложку осаждают поликристаллический кремний с размером зерна 10-2- 102 мкм и рекристаллизуют его с помощью импульсного лазерного излучения при длительности лазерного импульса 7-100 нс и плотности энергии лазерного излучения 2,7-3,2 Дж/см2 . Длина волны лазерного излучения лежит в полосе межзонного поглощения кремния. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента