На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ НА ОСНОВЕ МОНОСУЛЬФИДА САМАРИЯ | |
Номер публикации патента: 1820790 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L021/34 | Аналоги изобретения: | Клокова Н.П. Тензорезисторы, М.: Машиностроение, 1990, с.224. |
Имя заявителя: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе | Изобретатели: | Каминский В.В. Сосова Г.А. Володин Н. |
Реферат | |
Использование: технология производства компонентов электронной техники, в частности технология производства полупроводниковых тензорезисторов, а также при изготовлении датчиков механических величин. Сущность: немеханическим путем удаляют краевые участки тензочувствительного слоя моносульфида самария, в частности путем обработки в травителе следующего состава: 1 об. ч. концентрированной соляной кислоты, 650 об. ч. 5%-ного водного раствора тиомочевины. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
|