|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ М - СЛОЙНОЙ (М = 1,2...) СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 1807811 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 60-192329, кл. H 01L 21/28, 1985. Заявка Великобритании n 21292217, кл. G 03C 5/00, 1984. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" | | Изобретатели: | Бродко Г.М.
Возный О.В |
Реферат | |
Использование: в электронной технике, а конкретно - в технологии производства интегральных схем. Сущность изобретения: способ включает последовательное формирование на подложке слоев из различных по оптическим свойствам материалов с предварительно выбранной толщиной слоев из условия достижения экстремального значения интенсивности отражения так, чтобы для каждого слоя толщина была кратна λ/(4njcosϕi), где j - порядковый номер слоя; nj - показатель преломления j-го слоя на длине волны λ; ϕj - угол преломления в j-м слое, определяющийся по рекуперентной формуле ϕj= arcsin(nj-1sin(ϕi-1)/nj).-2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента