|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УТОНЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 1766212 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 59-117219, кл. H 01L 21/304, 1984. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт "Пульсар" | | Изобретатели: | Тюнькова З.В.
Савостьянова Н.В.
Башевская О.С.
Рогов В.В.
Белов |
Реферат | |
Сущность изобретения: утонения ведут по циклу: механическая обработка и полирующее травление. После каждой операции измеряют неплоскостность. Цикл повторяют. Последнюю механическую обработку проводят на глубине не более 50 мкм. Последнее полирующее травление проводят на глубину, обуславливающую повышение неплоскостности в 2,0-5,0 раз по отношению к предыдущей механической обработке.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента