|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КМОП - СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 1759185 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/336 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 55-14538, кл. H 01L 27/08, 1980. |
| Имя заявителя: | Производственное объединение "Минский часовой завод" | | Изобретатели: | Плащинский Г.И.
Саньков И.В.
Нагорный А.А.
Сидоренко Е.Б. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа "Минский часовой завод" |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике. Цель изобретения - упрощение способа и повышение его производительности. Данный способ включает в себя формирование на пластине монокристаллического кремния 1-го типа проводимости пленки защитного диэлектрика толщиной 0,03-0,05 мкм, формирование карманов 11-го типа проводимости, ионную имплантацию примесей обоих типов проводимости в области истока и стока транзисторов и охранные области, удаление пленки защитного диэлектрика, формирование пленки подзатворного диэлектрика одновременно с активацией и разгонкой примесей обоих типов, формирование электродов затвора. 5 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента