|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛОКАЛЬНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЗОН |  |
Номер публикации патента: 1556433 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/208 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 3918148, кл. B 01J 17/00, 1975. |
| Имя заявителя: | Научно-производственный коллектив "Сатурн" | | Изобретатели: | Свиридов А.Л.
Майстренко В.Г. | | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Сатурн" |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии полупроводниковых структур, а именно к технологии формирования металлических зон для зонной перекристаллизации градиентом температуры, и может найти применение в технологии изготовления фотопреобразователей. Целью изобретения является упрощение технологии изготовления и повышение качества зон. Поверхность кремниевой подложки маскируют слоем двуокиси кремния, вскрывают окна в маскирующем слое и формируют металлические зоны во вскрытых окнах путем нанесения расплава металла на поверхность подложки и изотермической выдержки при повышенной температуре при последующем удалении расплава с маскированной поверхности. По изобретению вскрытие окон осуществляют скрайбированием сплошного маскирующего покрытия под слоем расплава. Время контактирования вскрытой области с расплавом определяется шириной зоны расплава, перемещающейся по поверхности подложки, и скоростью ее перемещения, равной скорости перемещения скрайбера. Экспериментальным путем найдены оптимальные сочетания параметров процесса.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента