На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АНТИМОНИДА ИНДИЯ

Номер публикации патента: 1480674

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  4145243		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к электронной технике, а именно к полупроводниковой и гибридной технологиям, и может быть использовано при формировании рисунка схемы методом фотолитографии. Цель изобретения - улучшение качества травления за счет повышения его равномерности. В раствор для травления антимонида индия, включающий органическую кислоту, перекись водорода и азотную кислоту, дополнительно вводят фторид аммония и алкилсульфонат натрия, а в качестве органической кислоты используют винную или лимонную кислоту. Компоненты раствора берут в соотношении, об.%: 30%-ная винная или лимонная кислота 66,7 - 72,7; 30%-ная перекись водорода 15,5 - 23,3; 65%-ная азотная кислота 3,3 - 5,7; 40%-ный фторид аммония 2,9 - 6,2; 1%-ный алкилсульфонат натрия 1,7 - 2,9. Неровность поверхности 3 - 5 мкм. Подтрав защитной пленки 3 - 5 мкм. 1 табл.

Вернуться к списку