|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 1340500 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/76 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 3648125, кл. 317-235, 1969. Патент США N 4104086, кл. 148-15, 1979. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Даниелян В.С.
Евдокимов В.Л.
Зайдлин Г.М.
Манжа Н.М.
Фишель |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления изоляции элементов сверхбольших интегральных схем. Цель - упрощение технологии изготовления изоляции элементов за счет снижения требований к профилю канавок и повышение выхода годных интегральных схем путем устранения пустот в канавках. Согласно изобретению, заполнение канавок двуокисью кремния производят пиролизом тетраметоксисилана при давлении в реакторе 133 - 266 Па. При этом температуру подложек поддерживают в диапазоне 800 - 880oС. Устранение пустот снижает технологические требования к профилю канавок и повышает выход годных. 4 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента