|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА |  |
Номер публикации патента: 1217196 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 820529, кл. H 01L 21/312, 1978. J. of Appl Phus, v.46, N 9, 1975, p.4080. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Чесноков В.В.
Домахина А.М.
Иванцова Н.Д.
Глуздакова Г |
Реферат | |
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента