|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ СЛОЕВ |  |
Номер публикации патента: 1155128 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | Микроэлектроника. Том 9, вып. 6, 1980, с. 556. Электронная техника. Сер. 2, 1978. вып. 2, с. 93. |
| Имя заявителя: | Институт электроники АН БССР | | Изобретатели: | Врублевский А.П.
Календин В.В.
Кадомский И.А.
Невзорова Л.Н.
Погоцкий Э.И.
Полякова Н.Г.
Точицки |
Реферат | |
Способ измерения размеров элементов литографических слоев, включающий формирование увеличенного изображения литографического слоя, измерение параметров увеличенного изображения и преобразование этих параметров в размер элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, перед формированием увеличенного изображения в литографическом слое выполняют голографическую решетку и наносят на его поверхность латексные сферы, увеличенное изображение литографического слоя формируют с помощью растрового электронного микроскопа, после чего проводят юстировку микроскопа по латексным сферам, а параметры увеличенного изображения измеряют по форме распределения видеосигнала, при этом определяют расстояние B, соответствующее размеру элементов b, и расстояние D, соответствующее периоду голографической решетки d, а преобразование этих параметров в размер элементов осуществляют по формуле
b = B/D · d.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента