US 2003/218222 A1, 27.11.2003. JP 2000044236 A, 15.02.2000. J.R.BILLINGHAM et all, Electrical and optical properties of amorfous indium oxide. J. Phys. Condens. Matter. Vol.2, 1990, p.6207-6221. RU 2069417 C1, 20.11.1996. RU 2189665 C2, 20.09.2002.
Изобретение относится к аморфному оксиду, применяемому в активном слое полевого транзистора. Сущность изобретения: аморфный оксид, содержащий по меньшей мере один микрокристалл и имеющий концентрацию электронных носителей в пределах от 1012/см3 до 1018/см3, содержит, по меньшей мере, один элемент, выбранный из группы, состоящей из In, Zn и Sn, и граница раздела зерен упомянутого по меньшей мере одного микрокристалла покрыта аморфной структурой. Техническим результатом изобретения является получение аморфного оксида, который функционирует как полупроводник для использования его в активном слое тонкопленочного транзистора. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 8 ил.