|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО ДАТЧИКА |  |
Номер публикации патента: 2123220 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L049/02 H01L029/84 | | Аналоги изобретения: | Фрэнк Гудинаф. Интегральный датчик ускорения для автомобильных надувных подушек безопасности. Электроника. - 1991, N 16, с.7-14. RU 2006993 C1, 1994. EP 0138023 A2, 1985. US 4918032 A, 1990. |
| Имя заявителя: | Научно-производственный комплекс "Технологический центр" | | Изобретатели: | Годовицын И.В.
Шелепин Н.А.
Парменов Ю.А. | | Патентообладатели: | Научно-производственный комплекс "Технологический центр" |
Реферат | |
Использование: технология изготовления интегральных датчиков. Сущность: способ изготовления интегрального датчика, использующего в качестве чувствительного элемента поликремниевую поверхностную микромеханическую структуру, включает в себя формирование на монокристаллической кремниевой подложке соединений между поликремниевой структурой и схемой путем осаждения слоя высоколегированного поликремния, фотолитографии и травления, формирование поликремниевой структуры на опорном слое, ее термообработку при температуру 1100 - 1200oC, формирование активных элементов схемы, металлизации, пассивации и удаление опорного слоя. Технический результат изобретения состоит в увеличении чувствительности к механическому воздействию. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента