US 7745014 B1, 29.06.2009. US 7122100 B1, 17.10.2006. EP 0537851 A1, 21.04.1993. RU 2240377 C2, 20.11.2004. RU 2123971 C1, 27.12.1998. RU 2073931 C1, 20.02.1997. SU 1746426 A1, 07.07.1992.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Тимошенков Сергей Петрович (RU) Гаев Дахир Сайдуллахович (RU) Бойко Антон Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Реферат
Предложенное изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой газопоглощающий материал в виде нанокомпозитной газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе и в микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет собой пористый кремний с порами нанометрового диапазона, которые заполнены газопоглощающим слоем из активного металла или его сплава. Полученная таким образом структура обладает высоким значением эффективной поверхности с высоким значением сорбционной емкости за счет использования пористого кремния с порами нанометрового диапазона и активных металлов и их сплавов с открытой пористостью, размещенных в матрице кремния, что является техническим результатом изобретения. Кроме того, полученная структура исключает образование и осыпание микрочастиц и может быть легко встроена внутрь миниатюрных объемов. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента