|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ИСТОЧНИК ИЗЛУЧЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2310947 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J061/16 | | Аналоги изобретения: | RU 2271590 C1, 10.03.2006. RU 2067337 C1, 27.06.1996. RU 2258975 C2, 20.08.2005. SU 1022238 A1, 07.06.1983. SU 1314188 A1, 30.05.1987. EP 0517929 A1, 16.12.1992. US 5604410 A, 18.02.1997. US 5198717 A, 30.03.1993. GB 1498799 A, 15.01.1978. US 5013959 А, 07.05.1991. US 3721851 А, 20.03.1973. |
| Имя заявителя: | Институт сильноточной электроники СО РАН (RU) | | Изобретатели: | Ломаев Михаил Иванович (RU)
Тарасенко Виктор Федотович (RU)
Шитц Дмитрий Владимирович (RU)
Скакун Виктор Семенович (RU) | | Патентообладатели: | Институт сильноточной электроники СО РАН (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных газоразрядных источников спонтанного излучения, в частности, при разработке источников излучения в вакуумной и вакуумной ультрафиолетовой областях спектра и их применении в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента