На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

МАСС - СПЕКТРОМЕТР ДЛЯ ГАЗОВОГО АНАЛИЗА

Номер публикации патента: 95112665

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95112665

Реферат

Масс-спектрометр для газового анализа, включающий камеру анализатора с ионным источником и детектором, катод, расположенный в отдельной камере, отделенной от камеры анализатора диафрагмой с отверстием для прохождения электронов в камеру анализатора и систему откачки камеры анализатора и камеры с катодом, содержащую насос и вакуумные соединительные элементы, отличающийся тем, что в качестве насоса системы откачки взят магниторазрядный насос, подключенный к камере анализатора через камеру с катодом, а вышеупомянутая диафрагма имеет дополнительные отверстия для откачки, площадь A₂ которых удовлетворяет соотношениям:

где A₁ - площадь отверстия для прохождения электронов, м²;
V₀ - объем камеры анализатора, м³;
τ_о - постоянная времени газоанализатора, с;
M- молекулярная масса анализируемой газовой смеси, кг/кМоль;
T - абсолютная температура газовой смеси, К;
S_н - скорость откачки насоса, м³/c;
P₁ - давление в системе откачки и в камере с катодом, Па;
P₂ - давление в камере анализатора, Па; (10^-6 ≅ P₁ ≅ 10^-4) Па;
k - коэффициент повышения достоверности газового анализа, k = (P₂/P₁)².

Вернуться к списку