|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ПЛАЗМЕННЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК |  |
Номер публикации патента: 94022102 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94022102 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | | Изобретатели: | Сихарулидзе Г.Г.
Лежнев А.Е |
Реферат | |
Плазменный ионный источник относится к области аналитической химии и может быть использован для элементного анализа жидкостей и газов, в ионной технологии. Цель изобретения - повышение чувствительности анализа жидкостей и газов с одновременным упрощением и удешевлением аппаратурного оформления. Плазменный ионный источник содержит разрядную камеру с входной щелью, по центральной оси которой через изолятор размещено устройство для подачи анализируемого образца, которое выполнено в виде капилляра, источник высокого напряжения и система вытягивания и фокусировки ионов.
|
Поиск патентов