Leckey R.C.G., Riley J.D., Stampfl A.J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom, 1990. v.52, c.550-559. SU 175584, 09.10.1965. SU 591107, 30.08.1982. SU 695465, 15.11.1991. RU 2327246 C2, 10.12.2007. EP 388959 A, 26.09.1990. KZ 19634 A, 16.06.2008. JP 2099846 A, 11.04.1990.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет (RU)
Изобретатели:
Трубицын Андрей Афанасьевич (RU) Солдатов Виктор Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет (RU)
Реферат
Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичным, например, синхротронным излучением с поверхности твердого тела. Технический результат - улучшение аналитических, эксплуатационных и потребительских свойств электронных спектрометров с угловым разрешением, используемых для исследования объектов микро- и наноэлектроники методами электронной спектроскопии. Аксиальносимметричный энергоанализатор коробчатого типа реализует схему измерений угловых зависимостей в полном диапазоне полярных и азимутальных улов с помощью позиционно-чувствительного детектора. Электронно-оптическая схема энергоанализатора обеспечивает угловую фокусировку четвертого порядка вблизи центральной траектории с начальным полярным углом 90°. Фокусировка четвертого порядка является критерием высокого качества энергоанализатора, поскольку в этом случае значительно ослабляется противоречие, заключенное в требовании одновременно высоких значений светосилы и разрешающей способности, по сравнению со случаем фокусировок более низких порядков. Анализатор с энергетическим и угловым разрешением, построенный по предлагаемой схеме, способен обеспечить относительное энергетическое разрешение менее чем 0.1% и угловое разрешение меньше 0.5 градуса, что более чем на порядок улучшает потребительские и эксплуатационные параметры приборов такого типа при значительно более простой конфигурации электродов. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента