J. ELECTRON SPECTR., 5, 1974, с.691-695. RU 2294579 C1, 27.02.2007. SU 1814427 А1, 20.04.1995. SU 1647700 A, 07.05.1991. US 6423965 A, 23.07.2002. WO 03077281 A1, 18.09.2003.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет (RU)
Изобретатели:
Трубицын Андрей Афанасьевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет (RU)
Реферат
Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых рентгеновским излучением с поверхности твердого тела, и может быть использовано для улучшения аналитических, эксплуатационных и потребительских свойств электронных спектрометров, используемых для исследования объектов микро- и наноэлектроники методами рентгено-электронной спектроскопии. Технический результат - улучшение основного эксплуатационного параметра анализатора - чувствительности с одновременным упрощением компоновки спектрометра в целом. Решение поставленной задачи достигается путем использования трехступенчатого электростатического энергоанализатора заряженных частиц, обеспечивающего угловую фокусировку второго порядка типа «ось-кольцо» и диапазон входных углов, в пределах которого анализируются фотоэлектроны 60°±2°, что позволяет коаксиально встроить в анализатор рентгеновский источник, причем на практически минимально возможном расстоянии от образца. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента